我国首次建立基于硅晶格常数溯源的集成电路纳米线宽标准物质

我国首次建立基于硅晶格常数溯源的集成电路纳米线宽标准物质

【我国首次建立基于硅晶格常数溯源的集成电路纳米线宽标准物质】财联社9月13日电，中国计量科学研究院的纳米线宽标准物质研制团队，以国际计量局规定的国际单位制米定义复现方法——硅晶格{220}方向尺寸（0.192nm）为基础，采用内禀硅晶格原子标尺的线宽标准物质设计方案，实现对线宽标准物质的原子级准确度（˂1nm）计量溯源，突破了现有波长计量基准（633nm）溯源方式对线宽测量的5nm不确定度水平极限，成功研制了与集成电路关键制程节点相对应的7nm、22nm、45nm的线宽标准物质，不确定度水平处在0.32～1.3nm...